一、防尘、防毒设施设计
（1）生产设备采用自动化、机械化、密闭化设备。 （2）气瓶的瓶身厚度是以其所盛装气体在常温、常压下的饱和蒸气压为依据设计，由经政府部门认可的专业厂家制造，而且定期检验气瓶的各项指标（如气瓶的厚度、重量、内外壁面状况等），确保其具有良好的防爆性。进口的气瓶阀门较之国产阀门可靠性高，密闭性好（气密性可高达99.9999%以上），具有良好的防泄漏性，可防止气体的泄漏气瓶的瓶帽亦具有良好的封闭性，对气体阀门起到保护作用。即使在气体阀门失效的情况下，也可防止气体泄漏。在气体阀门控制器下面，气体的出口处还安装有两道内锁，由栓塞控制。内锁不开启，即使气体阀门打开，也不会造成气体泄漏事故。在气体未使用之前，气体的出口处用铅封密封，保证气体不泄漏。在气体泄漏至报警浓度值时发出尖锐警报，并自动关闭输气阀门，防止气体继续外泄。 （3）特气房实行双人收发、双人保管制度，管理人员必须持证上岗，并设置明显的有毒、防火等警示标识。 （4）在生产车间设置各类气体监控装置，与气柜联动。车间内任何气体超标，与MOCVD主设备配套的监测器将自动报警并切断气源。 （5）排风罩应能将有害物源放散的有害物予以捕集，在使工作场所有害物浓度达到相应卫生标准要求的前提下，提高捕集效率，以较小的能耗捕集有害物。 （6）当不能将有害物源全部密闭时可设置外部罩，外部罩的罩口应尽可能接近有害物源。 （7）排风罩的罩口外气流组织宜有利于有害气流直接进入罩内，且排气线路不应通过作业人员的呼吸带。 （8）排风罩应避免布置在存在干扰气流之处。排风罩的设置应方便作业人员操作和设备维修。 二、防噪、减振设施设计 （1）在符合工艺要求的条件下，选用低噪声的设备。 （2）高噪声设备集中布置，与低噪声作业场所分开布置。 （3）作业场所、车间办公室采用门、窗进行隔声。 （4）作业场所和办公室分开布置，避免生产性噪声对非生产区造成污染。 三、防暑、降温设施设计 （1）高温季节为劳动者发放清凉饮品和药品。 （2）合理安排作业时间，制定合理的劳动休息制度，减少高温接触时间。 （3）作业场所设置新风系统、空调，加强空气流通。 除上述防暑降温设施、措施，建设项目还应按照《国家安全生产监督管理总局 卫生部 人力资源和社会保障部 中华全国总工会关于印发防暑降温措施管理办法的通知》（安监总安健〔2012〕89号）的要求，根据地市级以上气象主管部门所属气象台当日发布的预报气温，调整作业时间： ①日最高气温达到40℃以上，应当停止当日室外露天作业； ②日最高气温达到37℃以上、40℃以下时，建设项目全天安排劳动者室外露天作业时间累计不得超过6小时，连续作业时间不得超过国家规定，且在气温最高时段3小时内不得安排室外露天作业； ③日最高气温达到35℃以上、37℃以下时，建设项目应当采取换班轮休等方式，缩短劳动者连续作业时间，并且不得安排室外露天作业劳动者加班。 | 
