一、防尘、防毒设施设计 （1）2#厂房1F钻机设置侧吸罩（罩口控制风速≥1.0m/s，风机风量：7000m3/h）。 （2）2#厂房2F铣床设置侧吸罩（罩口控制风速≥1.0m/s，风机风量：7000m3/h）。 （3）2#厂房2F棕化线采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：7000m3/h）。 （4）2#厂房3F晶圆切割机设置侧吸罩（罩口控制风速≥1.0m/s，风机风量：7000m3/h）。 （5）4#厂房2F激光钻孔采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：25000m3/h）。 （6）4#厂房2F微蚀减铜线、水平除胶沉铜线、镀锡线、镀铜线、图形化学前处理线、快速蚀刻线、水平DES线采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：27600m3/h）。 （7）4#厂房2F去膜线/隧道烘箱采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：32000m3/h）。 （8）4#厂房3F沉锡线、超粗化线、喷砂线采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：20000m3/h）。 （9）4#厂房3F丝印机、滚涂线采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：35000m3/h）。 （10）4#厂房3F去膜线采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：32000m3/h）。 （11）4#厂房3F镍钯金线采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：31000m3/h）。 （12）4#厂房3F数控铣床采用自动化、机械化、密闭化设备，并设置密闭罩（罩口控制风速≥0.4m/s，风机风量：25000m3/h） （13）原辅料分类存放，均用密闭的容器储存，化学品容器用垫板垫高，防止与地面接触。化学品仓库采用环氧地坪漆，设置围堰或放置托盘，预防化学品发生泄漏。 （14）易燃液体、遇湿易燃物品、易燃固体不与氧化剂混合贮存，具有还原性的氧化剂单独存放。 （15）有毒物品应贮存在阴凉、通风、干燥的场所，不露天存放，不接近酸类物质。 （16）化学危险品入库时，严格检验物品质量、数量、包装情况、有无泄漏。 （17）化学危险品入库后采取适当的养护措施，在贮存期内，定期检查，发现其品质变化、包装破损、渗漏等，及时处理。 （18）库房温度、湿度严格控制、经常检查，发现变化及时调整。 （19）建设单位生产过程产生的固废分类存放、密封袋盛装。 （20）排风罩应能将有害物源放散的有害物予以捕集，在使工作场所有害物浓度达到相应卫生标准要求的前提下，提高捕集效率，以较小的能耗捕集有害物。 （21）当不能将有害物源全部密闭时可设置外部罩，外部罩的罩口应尽可能接近有害物源。 （22）排风罩的罩口外气流组织宜有利于有害气流直接进入罩内，且排气线路不应通过作业人员的呼吸带。 （23）排风罩应避免布置在存在干扰气流之处。排风罩的设置应方便作业人员操作和设备维修。 （24）液氮为密闭管道输送。 （25）建设项目化学品在使用前均为密封包装状态，分别转运至药品自动供给室，在安装桶/槽/罐/瓶时，均在化学品柜中进行，管路连接完成后方能开启桶/槽/罐/瓶。药品配送站设计位于密闭的洁净厂房内，设置一般排气（2#厂房：风量18000m3/h；4#厂房：风量40000m3/h），废气将通过厂房屋顶排气筒排放。化学品在输送至生产工序时管道采用双层套管，避免了物料的跑冒滴漏。 二、防噪、减振设施设计 （1）在符合工艺要求的条件下，选用低噪声的设备。 （2）高噪声设备集中布置与办公室隔开，并设置消音器（风机等），作业场所采用墙体隔声，减少噪声传播，降低噪声对非生产区的影响。 （3）生产设备设置减振垫，减少振动造成的噪声。 （4）办公室、控制室与作业场所位于不同楼层，正常作业时，门窗均为关闭状态。 ①消音器外观应整洁、无破损； ②消音器铭牌、合格证及气流方向标志应牢固，标识内容应清晰； ③消音器采用铆接工艺时，铆点应均匀牢固且应选用实心铆钉，穿孔板咬口方式应采用内平咬口工艺以减小风阻；采用焊接工艺时，焊接区域应牢固、均匀、光滑，不应有裂纹、虚焊、气孔、夹渣等缺陷； ④消音器安装采用过渡管连接时，过渡管单边当量扩张角应不大于15°，并应保证气流均匀通过消声器截面； ⑤在保证使用性能的条件下，消音器可承受的最高压力不应超过额定压力的120%，可通过气流的最高流量不得超过额定流量的110%，可通过介质的最高温度不应高于额定温度50℃。 三、防暑、降温设施设计 （1）高温季节为劳动者发放清凉饮品和药品。 （2）合理安排作业时间，制定合理的劳动休息制度，减少高温接触时间。 （3）作业场所采用送风系统，空调作业场所，加强内空气流通。 （4）建设单位隧道烘箱等设置隔热材料，防止作业人员烫伤。 （5）除上述防暑降温设施、措施，建设单位还应按照《关于印发防暑降温措施管理办法的通知》（安监总安健〔2012〕89号）的要求，根据地市级以上气象主管部门所属气象台当日发布的预报气温，调整作业时间： ①日最高气温达到40℃以上，应当停止当日室外露天作业； ②日最高气温达到37℃以上、40℃以下时，建设单位全天安排劳动者室外露天作业时间累计不得超过6小时，连续作业时间不得超过国家规定，且在气温最高时段3小时内不得安排室外露天作业； ③日最高气温达到35℃以上、37℃以下时，建设单位应当采取换班轮休等方式，缩短劳动者连续作业时间，并且不得安排室外露天作业劳动者加班。 四、防电离辐射设施设计 （1）设备自带屏蔽措施（屏蔽体与X射线装置主体结构一体设计和制造）。机房四周和顶部的墙体均采用钢-铅-钢夹层结构（铅层厚度：14mm）。 （2）设置单独的控制台，控制台的液晶显示屏可清晰地显示工作时的管电压、管电流、高压接通或断开状态以及照射时间设定值等工作参数，并设有高压接通时的外部报警、指示装置，控制台与X射线机系统分开并避开有用线束的照射方向。 （3）设置门-机联锁装置，并保证在门（包括人员门和货物门）关闭后X射线装置才能进行作业，门打开时应立即停止X射线照射，关上门不能自动开始X射线照射。 （4）作业场所门口和内部同时设有显示“预备”和“照射”状态的指示灯和声音提示装置。“预备”信号持续足够长的时间，以确保探伤室内人员安全离开。“预备”信号和“照射”信号与该工作场所内使用的其他报警信号有明显区别。照射状态指示装置与X射线探伤装置联锁。 （5）作业场所防护门上有电离辐射警告标识和中文警示说明。 （6）分别设置钥匙开关，并由专人管理，只有在打开控制台钥匙开关后，X射线管才能出束；只有在停机或待机状态时才能拔出钥匙。 （7）设置摄像头，对测厚、在线 X-ray 检查、钻靶作业进行监控，避免不规范作业。 （8）设置独立的安全开关，防止门在检测过程中打开或在门打开时关闭高压，铅门同时设置与X射线源的连锁保护，铅门打开时不能开启高压，开高压过程中如铅门意外打开，高压自动关闭，控制台配置应急开关与X射线源连锁。 （9）每天对各操作按钮开关是否完好无损，对急停开关、联动门关闭、警示灯、水冷系统运行、监控系统、辐射个人剂量报警仪、个人剂量片胸卡等是否正常工作或运行进行检查，确认无误后方可进行作业。 （10）设置电源总开关，当紧急停机按钮无法使用，可以切断电源总开关使系统停止运行。 （11）定期用检测仪对系统辐射值进行检测，检测射线是否有泄漏。放射工作人员开机操作前先使用X射线泄漏检测仪对系统进行放射泄漏安全检测，检测合格后方可按照安全操作规程进行操作，定期对接地和电缆绝缘进行检查。 （12）制定X射线实时成像检测系统的安全操作规程，并对放射工作人员进行培训，严格按照操作规程进行操作。 （13）X射线装置墙壁围成的内部区域划为控制区,与墙壁外部相邻区域划为监督区。 （14）控制区边界悬挂清晰可见的“禁止进入X 射线区”警告牌,探伤作业人员在控制区边界外操作,否则应采取专门的防护措施。 （15）现场探伤作业工作过程中,控制区内不应同时进行其他工作。 五、防非电离辐射设施设计 （1）建设单位激光打标、激光钻孔、UV 固化、阻焊DI曝光采用自动化、密闭化设备，并设置联锁的防护罩，光束的通道防护围封。 （2）在防护装置被打开或被移动，或联锁装置失效时，设备不能自动运行工作。 （3）机床的激光成形加工装置安全、可靠，确保其不致脱落或在运动时不被甩出。 （4）设备的往复运动部件采取可靠的限位措施。各运动轴设置可靠的电气、机械双重限位装置，防止造成滑落的危险。 （5）在预定工作条件下，设备及其部件不出现意外倾覆。激光系统、光束传输部件应有防护措施并牢固定位,防止造成冲击和振动。 （6）设备工作时有明显的信号指示，警示标志贴在设备的醒目位置。 （7）每个“起动”控制元器件附近均应设置一个“停止”控制元器件。设备的每个操作位置均应设置急停器件。设备的急停能实现： ①使激光光束不再产生并自动把激光光闸放到关断位置； ②使设备停机； ③切断激光电源并释放储存的所有能量。 | 
